| NO. |
NAME |
DESCRIPTION |
| 1 |
건물벽 |
건물벽 |
| 2 |
Partition |
외부와 크린룸내부 단열 및 룸용도에 맞게 구획 |
| 3 |
전실Door |
작업자가 크린룸으로 가기전 전실로 출입하는 Door |
| 4 |
창 |
크린룸내 작업환경을 크린룸 외부에서 확인 |
| 5 |
특수물품 반입품Door |
크린룸내 장비를 반입하기 위한 Door |
| 6 |
Relief Damper |
실내압을 일정하게 유지 |
| 7 |
Pass Box |
Pass Box는 실이 접하는 벽에 설치되어 물건의 운반에 따르는 오염을 최소화하기 위해 사용 |
| 8 |
Air Shower |
사람이나 물건이 Clean Room에 입실시 외부의 오염물질(분진 또는 미생물)이 Cean Room 내에 유입되는 것을 방지 |
| 9 |
Clean Booth |
국부적으로 청정공간을 간단히 얻기 위해 사용 |
| 10 |
Clean Bench |
크린룸 내에서 국부적으로 안전한 청정환경을 얻기 위해 사용 |
| 11 |
Return Grille |
Return Air를 흡입 |
| 12 |
Lighting |
크린룸 조명 |
| 13 |
Fan Filter Unit |
먼지제거 - 청정도 1 & 10 & 100 의 Down Flow 방식 |
| 14 |
Hepa Filter Box |
먼지제거 - 청정도 1,000 & 10,000 & 100,000 의 Down Flow 방식 |
| 15 |
Blower Filter Unit |
먼지제거 - 저진동, 저소음 FAN을 내장한 장비 |
| 16 |
Air Handling Unit |
일정한 공간을 인간이 활동하기에 알맞은 온도 ·습도 ·기류(氣流) 분포로 조절하고, 동시에 공기 속의 먼지 등을 제거 |
| 17 |
Cean Locker |
Clean Room에 출입하는 작업자의 무진복을 청정상태로 보관하기 위한 장비 |
| 18 |
Supply & Retrn Duct |
Supply Air & Return Air가 통과하는 관 |
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